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超高真空主要用于表面研究、热核反应、高能加速器、半导体研究、空间模拟等科学领域中。目前超高真空实用真空度可达10 12Pa。
超高真空系统都是根据工艺要求由用户自行设计或委托制造厂商特殊加工制造的，很难买到适合用户要求的成套超高真空机组。超高真空系统的选泵、选材、选阀门和选密封结构等要求严格;焊接加工结构和方法与常规不同;要求漏气率和放气漏比普通真空系统要低;抽真空时还要采用烘烤措施等。
对超高真空系统使用的真空泵要求，除通常的选泵原则外，还有:
①主泵极限真空要比真空装置的工作真空高一个到一个半数量级，如工作真空选1X10-6Pa，那么泵的极限真空至少为1X10-7Pa;
②在真空装置的工作真空范围内，真空泵要有足够的抽速，以便排走装置中气体:
③主泵或者主泵人口到真空室排气口的管道、冷阱、挡板、阀门等均能经受250-450C的烘烤;
④主泵对被抽气体有选择性抽气时，应配辅助泵联合抽气;
⑤真空泵所用钢材应选用不锈钢。
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