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真空干燥机对于真空机组的要求是什么?

作者:admin时间:2021-11-03 02:12:0070 次浏览

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真空干燥机对于真空机组的要求是什么? 超高真空机组工作在10-6~10-8Pa超高真空压力范围,除了要求真空室的材料出气率很低、漏气率很小、能经受250C商温炊烤外,对机组的要求还有...

真空干燥机对于真空机组的要求是什么?
超高真空机组工作在10-6~10-8Pa超高真空压力范围,除了要求真空室的材料出气率很低、漏气率很小、能经受250C商温炊烤外,对机组的要求还有'
①真空干燥机主泵的极限真空要高,至少在10-7~10- 8Pa以上;
②真空干燥机在超高真空的工作压力范围内主泵具有一定的抽速;
③真空干燥机机组的主泵或主泵进气口以上部分能承受200450°C高温烘烤;
④来自主泵的返流气体(包括工作液蒸气及解析的气体)的分压力要足够低:
⑤真空干燥机对被抽气体选择性强的主泵,要配备足够大的辅助泵;
⑥真空干燥机机组主泵进气口以上的管道、阀门等部件,材料的选择和密封要特别慎重,般采用出气率较低的不锈钢和采用金属圈密封。
对超高真空机组使用的真空泵要求,除通常的选泵原则外,还有:
①主泵极限真空要比真空装置的工作真空高一个到一个半数量级,如工作真空选1X10 6Pa,那么泵的极限真空至少为1X10- 7Pa;
②在真空装置工作真空范围内,真空泵要有足够的抽速,以便排走装置中气体;
③主泵或者主泵人口到真空室排气口的管道、冷阱、挡板、阀门等均能经受250~450°C的烘烤;
④主泵对被抽气体有选择性抽气时,应配辅助泵联合抽气;
⑤真空泵所用钢材应选用不锈钢。

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