真空烘箱低真空机组的主要特点是工作压力高、排气量大，但抽速比高真空机组低。
多用于真空室的粗抽以及放气量很大，工作压力较高的真空输送、真空浸渍、真空过虑、真空脱气、真空干燥等装置中。低真空机组的主泵常用往复式真空泵、油封真空泵、水喷射泵、水蒸气喷射泵、水环泵、油蒸气喷射泵、分子筛吸附泵和罗茨泵等。除油蒸气喷射泵和罗茨泵不能直排大气外，其余上述各种真空泵均能直排大气。使用低真空机组，还需要根据被抽气体的清洁程度、湿度等工艺要求，配置除尘器、干燥过滤器等元件。