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油扩散泵在真空设备中的应用

作者:admin时间:2021-10-30 00:55:0062 次浏览

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油扩散泵在真空设备中的应用 油扩散泵属于射流真空泵的一-种,但与水蒸气喷射泵不同的是,油扩散泵工作在高真空区域,以低压高速油蒸气流作为工作介质。泵的抽气过程是被抽气...

油扩散泵真空设备中的应用
油扩散泵属于射流真空泵的一-种,但与水蒸气喷射泵不同的是,油扩散泵工作在高真空区域,以低压高速油蒸气流作为工作介质。泵的抽气过程是被抽气体扩散到油蒸气射流中而被携带到泵出口排除的过程。
油扩散泵的工作压力范围为10-6~10-1Pa,其极限压力可达10 -8Pa。泵的抽气速率可从每秒几升到每秒+几万升。此外与其他高真空或超高真空获得设备相比,油扩散泵除效率低外,它具有单位抽速所需成本较低,结构简单,没有机械运动部件,操作方便,使用寿命长,高可靠性和维修方便等特点,因此它成为一-种量大面广的获得高真空和超高真空的真空泵。
油扩散泵除了在一般工业中有广泛应用外,特别适应于那些要求对大工作室(大的被抽容器)进行快速抽空以及迅速排除被处理材料在处理过程中放出大量气体的工艺过程。
例如,真空冶金、真空热处理设备及真空镀膜设备等。
油扩散喷射泵与罗茨式真空泵相比较,结构简单,无机械转动部分,运转可靠,维护方便,使用寿命长,广泛用于真空冶金炉,如真空感应炉,真空电弧炉,电容器的真空干燥和浸渍,真空蒸馏设备,石油化工、塑料连续喷镀,低密度风洞设备,固体火箭发动机点火模拟设备和固体发动机高空试车台等设备中。但是,油扩散喷射泵不适用于抽除对金属有腐蚀作用或与泵油产生化学反应的气体。
 
 

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