微波真空干燥设备的真空干燥箱是由一段两端封团的矩形波导加上适当的激励和输出耦合装置组成的，它可以看作是扩大了的波导管。在干燥箱内，微波能几乎全部被物料吸收，使物料升温，金属箱体起到反射微波和防止微波泄漏的作用。
从电磁场性质上看，干燥箱是一个两端短路的矩形波导组成的谐振腔。在干燥箱内还安装有六个装料托盘，，通过电机，链轮和链条在箱外驱动箱内的六个托盘绕中心轴旋转，而料盘始终保持水平运动，致使物料不会脱落。由托盘旋转，使物料充分均匀的得到微波的照射，物料干燥均匀。
箱门上装有密封探头，可以确保密封的可靠性，防止微波泄漏。